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摘 要:本实用新型涉及碳化硅衬底加工技术领域,尤其为一种激光剥离制备8英寸以上碳化硅衬底的系统,包括激光切割箱,所述激光切割箱的上方设置有切割机构,所述激光切割箱的一侧固定连接有检测箱,所述检测箱的一侧固定连接有输出固定箱体,所述输出固定箱体的内部设置有延伸机构,启动第三气动伸缩杆可实现对进入U形夹板内部的衬底进行挤压,启动第二电机转动衬底,由第一检测模块对衬底的一侧表面进行检测,启动第三电机能够实现转动杆的转动,在传送辊的外部转动至与第一滚珠的顶部贴合时,能够带动第一滚珠进行转动,实现衬底的转动移位,方便一侧的第一检测模块进行较为全面的检测。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323561578.8 | 专利名称: | 一种激光剥离制备8英寸以上碳化硅衬底的系统 |
申请日: | 2023-12-26 | 申请/专利权人 | 合肥世纪金芯半导体有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 安徽省合肥市高新区长宁大道与长安路交叉口集成电路产业园一期A-1号楼1层西边(102)、A-1号楼3层西边(302) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23K26/38搜分类 激光 以上搜索 |
公开/公告日: | 2024-09-17 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221715914U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/09/17 | 授权 |