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摘 要:本发明涉及一种介质薄膜材料的制备方法,具体涉及一种具有低介电常数的多层介质薄膜材料的制备方法。本发明所述薄膜材料的分子式为制B备i1,.所5M述gN前b1驱.5O液7,A其为制N备b5+方溶法液包;前括驱以下液工B和艺前步驱骤液:前C驱的液制A备的,所述前驱液B为Bi3+溶液,所述前驱液C为Mg2+溶液;BMN薄膜的制备,制备BMN溶胶,然后将BMN溶胶作为原料在基片上沉积多层BMN薄膜,最终得到BMN多层介质薄膜材料。本发明所述的BMN介质薄膜材料的制备方法为溶胶凝胶法,制备工艺简单,过程无污染,生产成本较低,能显著提升其微波介电性能,具有广泛的应用前景。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110923271.4 | 专利名称: | 一种多层BMN介质薄膜材料及其制备方法 |
申请日: | 2021-08-12 | 申请/专利权人 | 齐鲁工业大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市长清区大学路3501号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C04B35/495搜分类 纳米材料搜索 |
公开/公告日: | 2021-09-17 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113402275A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |