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摘 要:本发明提供了一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法,包括单晶LiNbO3,形成于单晶LiNbO3表面的层状MoS2层,与MoS2层部分重叠的p型材料层,以及电极,所述电极放置于单晶LiNbO3,MoS2层、p型材料以及MoS2层与p型材料重叠部分的上方或者包括p型硅基衬底,HfO2层,MoS2二维材料层,LiNbO3晶态薄膜与电极,所述HfO2层部分覆盖硅基衬底,所述MoS2二维材料层与所述HfO2层部分重叠,所述LiNbO3晶态薄膜设置于MoS2二维材料层和HfO2层重叠部分上。本发明采用LiNbO3来增强MoS2二维材料的光电性能,可以降低工艺成本;相比传统的调制器,用MoS2/LiNbO3复合型光收发器插损降低,对硅的依赖性降低,无需控制硅成分严格控制,只要通过异质结堆叠步骤,可以获得低功耗、小体积的光收发器。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110754311.7 | 专利名称: | 一种硫化钼/铌酸锂复合型光收发器件及制备方法 |
申请日: | 2021-07-02 | 申请/专利权人 | 杭州电子科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市钱塘区白杨街道2号大街1158号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/103搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-04-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113488559B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |