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摘 要:本发明公开了一种半导体器件测试设备,属于半导体测试技术领域,通过内转柱作为容纳、传递半导体器件的载体,在无需开放测试箱的情况下,即可实现半导体器件在测试箱内的导入、检测和导出过程,有效维持测试箱内干燥的气体氛围,并且在半导体器件的同步导入导出过程中,通过对半导体器件所在区域依次进行预除湿和回温换气过程,不仅有效减少了氮气损耗,同时大大降低了空气湿气进入测试箱内的含量,进一步长期有效维持了干燥气体氛围,另外还使得检测后的半导体器件在取出时不易产生冷凝情况。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202111087325.4 | 专利名称: | 一种半导体器件测试设备 |
申请日: | 2021-09-16 | 申请/专利权人 | 王华江 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 四川省南充市嘉陵区双桂镇龙归院村6组24号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R31/26搜分类 半导体 器件搜索 |
公开/公告日: | 2021-12-14 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113791327A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/08/06 | 授权 | |
2021/12/31 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01R 31/26 专利申请号: 202111087325.4 申请日: 2021.09.16 |
2021/12/14 | 公开 |