发明专利已授权

一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法

Name: 一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法
Brand: 南京信息工程大学
SKU: 2019102874915
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910287491.5 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2019-04-11

公开号

CN109974583B

公开日

2024-03-26

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_00

IPC 分类号

G01B11_00 , G01B11_25 , G01B5_20 , G01B5_004 , G01B11_03 , G01B11_06 , G01B5_06 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

光学元件制造, 精密加工检测, 半导体制造, 科研实验, 工业质量控制

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摘要

一种非接触光学元件表面面形测量装置及方法，包括上位机、电子控制模块、探头支撑结构、光学探头、待测元件、元件夹持装置、Z轴电动平移台、千分表及XY轴电动平移台。光学探头向待测元件表面投影聚焦光点，光点反射回物镜后通过三孔光阑形成三孔亮斑。由于亮斑之间距离与光点高度位置有关，因此实时采集图像计算亮斑之间距离可获得表面厚度。为了增加高度测量范围，使用Z轴电动平移台上下移动待测元件并使用千分表测量元件位置。相比传统的接触式面形测量系统，本发明具有非接触的优点，可避免影响元件表面并同时获得大测量范围及高精度。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240326

✅ 授权

20190730

?? 实质审查的生效：

20190705

📄 公开

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