实用新型已授权

一种悬臂探针卡加工用腐蚀机

📄 申请号：CN202221087271.1 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2022-05-07

公开号

CN217973405U

公开日

2022-12-06

申请人

苏州维芯诺半导体有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23F1_08

IPC 分类号

C23F1_08

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备腐蚀加工探针卡制造

应用场景

半导体晶圆测试, 集成电路制造, 探针卡加工, 芯片测试设备

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摘要

本实用新型公开了一种悬臂探针卡加工用腐蚀机,包括机体、固定架和传动板，所述固定架的内部顶壁安装有气缸，所述气缸的输出端安装有压板，所述机体的顶部安装有放置块，所述放置块的内壁开设有槽体，所述弹簧的顶部安装有放置板，所述喷出孔的顶部安装有密封垫。本实用新型通过安装有压板、弹簧和放置板，压板移动将探针卡向下按压，使得探针卡被压板和放置板夹持，且放置板被向下压动，使得腐蚀液的液面涌入密封垫内，使得腐蚀液与探针卡接触腐蚀，腐蚀一定时间后，压板抬升，弹簧将放置板向上抬起，腐蚀液下降回入槽体内，使得腐蚀液不再与探针卡接触，此结构腐蚀效果好，腐蚀液在探针卡上残留少，避免了残留腐蚀液造成过度腐蚀的可能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221206

✅ 授权

一种探针卡加工用磨针机

当前第 / 件

一种悬臂探针卡用调针机

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