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| 专利/申请号： | CN201910466571.7 | 专利名称： | 一种磁控镀膜仪工艺参数的优化方法 |
| 申请日： | 2019-05-31 | 申请/专利权人 | 江苏大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省镇江市京口区学府路301号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | G05B13/04 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-12-16 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN110262233B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 9 | 所属领域： | 优化专利转让搜索 |
应用场景：磁控溅射镀膜工艺优化;功能性薄膜制备（如光学、防护涂层）;工业设备参数自动化控制
摘 要：本发明提供了一种基于遗传算法和BP神经网络的磁控镀膜仪工艺参数的优化方法，包括：步骤一：选取磁控镀膜仪的工艺参数进行试验，得到薄膜的电阻率、透光度以及薄膜厚度；步骤二：以磁控镀膜仪的工艺参数作为输入，以薄膜的电阻率、透光度以及厚度作为输出，构建一个含有多个隐含层的BP神经网络模型；步骤三：利用遗传算法优化BP神经网络初始的权值和阈值，得到最优的个体的权值和阈值；步骤四：将步骤三中得到的最优个体的权值和阈值赋值给BP神经网络模型，用步骤一的样本训练BP神经网络；步骤五：再次使用遗传算法优化磁控溅射镀膜仪的工艺参数，其中，使用步骤四训练得到的神经网络的预测输出构建适应度函数；本发明能够快速精确地对磁控溅射法镀膜工艺参数优化。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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