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一种磁控镀膜仪工艺参数的优化方法

Name: 一种磁控镀膜仪工艺参数的优化方法
Brand: 江苏大学
SKU: 2019104665717
Price: 18000.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910466571.7 📄 发布日：2026/07/10

著录项目信息

申请日

2019-05-31

公开号

CN110262233B

公开日

2022-12-16

申请人

江苏大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G05B13_04

IPC 分类号

G05B13_04

技术画像

所属领域

磁控溅射镀膜磁控溅射镀膜工艺参数优化薄膜制备技术

应用场景

光学镀膜, 半导体制造, 工具硬质涂层, 表面防护装饰, 太阳能电池薄膜

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摘要

本发明提供了一种基于遗传算法和BP神经网络的磁控镀膜仪工艺参数的优化方法，包括：步骤一：选取磁控镀膜仪的工艺参数进行试验，得到薄膜的电阻率、透光度以及薄膜厚度；步骤二：以磁控镀膜仪的工艺参数作为输入，以薄膜的电阻率、透光度以及厚度作为输出，构建一个含有多个隐含层的BP神经网络模型；步骤三：利用遗传算法优化BP神经网络初始的权值和阈值，得到最优的个体的权值和阈值；步骤四：将步骤三中得到的最优个体的权值和阈值赋值给BP神经网络模型，用步骤一的样本训练BP神经网络；步骤五：再次使用遗传算法优化磁控溅射镀膜仪的工艺参数，其中，使用步骤四训练得到的神经网络的预测输出构建适应度函数；本发明能够快速精确地对磁控溅射法镀膜工艺参数优化。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110262233B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 18000.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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¥18000.0 元

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：31 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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