发明专利已授权

基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器

📄 申请号：CN202011301953.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-11-19

公开号

CN112327410A

公开日

2021-02-05

申请人

西南交通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B6_126

IPC 分类号

G02B6_126 , G02B6_125 , G02B6_124 ,

技术画像

所属领域

光通信器件光通信器件亚波长光栅光偏振控制

应用场景

光通信, 数据中心, 集成光路, 光互连

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摘要

本发明公开了一种基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，采用二氧化硅作为基底，空气作为上包层以打破垂直对称性；使用硅波导，形成偏振分束旋转器主体；硅波导分为三部分：波导1为一级耦合亚波长光栅波导，等效拓宽波导特征尺寸，进而增大制作容差；波导2为两级锥形刻蚀波导，第一级锥形刻蚀与波导1完成相位匹配，实现偏振旋转，第二级刻蚀恢复波导厚度以参与二级耦合；波导3为二级亚波长光栅波导，对残留的TM0偏振模式进行二次耦合滤除。本发明的偏振分束旋转器采用多级耦合、多级滤除结构在紧凑的结构下实现了高偏振消光比、大制作容差，在光通信与光电信号处理中具有重要应用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20210803

✅ 授权

20210226

?? 实质审查的生效：

20210205

📄 公开

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