一种集成电路用基片涂层烘干箱

摘     要：本实用新型涉及集成电路基片生产技术领域，且公开了一种集成电路用基片涂层烘干箱，包括箱体，所述箱体的内部左壁开设有插槽，所述插槽的前端底部开设有卡槽，所述箱体的内部顶壁中部固定安装有温度传感器，所述箱体的内部右壁下端开设有进风口。该集成电路用基片涂层烘干箱，通过启动循环通道内壁的加热板对循环通道内部进行加热，开启风扇将循环通道内部的热量输送到箱体的内部对基板涂层进行烘干，箱体内部热量由于风扇的吹动，使内部气流从进风口进入到循环通道进行加热，持续循环，由于箱体的内部气流一直快速循环流动，使对基片涂层的烘干效率加快，同时也防止了箱体内部热量分布不均的情况出现。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2021/08/24	授权