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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN201810611239.0 | 专利名称: | 可检测气体泄漏的密闭腔体 |
申请日: | 2018-06-14 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 发明 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L21/67分类检索 半导体衬体 光刻 涂胶工艺 泄漏专利转让搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 【平台担保交易】 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明技术方案公开了一种可检测气体泄漏的密闭腔体,包括:上腔体,在上表面设有进气口和排气口;下腔体,所述下腔体的上表面与所述上腔体下表面贴合设置,形成一个密闭空间;密封圈,设置于所述上腔体与所述下腔体之间;第一沟槽,呈环形,位于所述上腔体下表面边缘,且位于所述密封圈的外侧;第二沟槽,呈环形,位于所述下腔体上表面边缘,且位于所述密封圈的外侧,所述第一沟槽和所述第二沟槽相对设置构成一个环形的闭合隔离结构。采用上述的密闭腔体,通过在密封圈外侧设置闭合隔离结构,形成净化气体屏障,可以及时检测出工艺气体的泄漏。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |