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摘 要:本申请公开了一种抽吸装置。该抽吸装置包括:抽吸部件,包括多个抽吸口,所述多个抽吸口分布于所述抽吸部件的底部;以及转轴,所述转轴的第一端固定地连接至所述抽吸部件的顶部,其中,所述多个抽吸口分别位于距所述转轴不同的垂直距离处。通过这种抽吸装置,能够有效地去除电镀液中存在于高电阻虚拟阳极下方的气泡,减少电镀晶圆的缺陷率。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910519389.3 | 专利名称: | 抽吸装置 |
申请日: | 2019-06-14 | 申请/专利权人 | 德淮半导体有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C25D21/04搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2020-09-22 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110158143B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |