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24小时咨询热线著 录 项 目：
| 专利/申请号： | CN201710988081.4 | 专利名称： | 一种化学溶液法制备硼掺杂氧化物介电薄膜的方法 |
| 申请日： | 2017-10-21 | 申请/专利权人 | 河南大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 河南省开封市顺河区明伦街85号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | H01L21/316分类检索 化学化工 塑料 硼 港口 化学溶液专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2020-04-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN107799415B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：一种化学溶液法制备硼掺杂氧化物介电薄膜的方法，包括以下步骤：步骤1：前驱体溶液的制备：以硼酸和可溶性金属盐为溶质，以乙二醇甲醚为溶剂，配置成混合溶液，磁力搅拌，形成澄清透明的前驱体溶液；步骤2：薄膜制备：将步骤1所述的前驱体溶液旋涂在清洗干净的衬底表面，形成硼掺杂氧化物凝胶薄膜，然后预热处理1～2分钟；步骤3：热处理：重复步骤2多次，然后热处理1～2小时，得到硼掺杂氧化物介电薄膜。本发明采用硼酸作为掺杂原料，由于硼离子与氧离子具有很高的离解能，硼离子掺杂可以降低氧空位浓度，提高薄膜氧含量，增强薄膜的介电特性。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2020/04/03 | 授权 | |
| 2018/04/06 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): H01L 21/316 专利申请号: 201710988081.4 申请日: 2017.10.21 |
| 2018/03/13 | 公开 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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