一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法

摘     要：本发明公开了一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤A，在单模光纤上切割出一个与光纤轴向呈90°垂直的端面，并对所述端面进行打磨抛光；步骤B，利用溅射或化学气相沉积方法在所述端面上生长一层高折射率均匀薄膜，作为波导层；步骤C，利用光刻加刻蚀方法在波导层的表面制备光栅结构；所述光栅结构的区域尺寸不小于20×20微米；步骤D，利用聚焦离子束系统在光栅区两个相对位置分别刻蚀一个沟槽；步骤E，利用聚焦离子束系统在两个沟槽的内侧壁上沉积一层约300nm厚度的贵金属薄膜。该方案可以有效提高光纤RWG结构的共振信号，提高信噪比，从而可以达到实用化要求。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注