导模共振类专利转让_商标转让

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专利名称：一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法申请号：2020102118658 转让价格：面议收藏
法律状态：已下证类型：发明关键词：传感器导模共振相似专利发布日：2024/07/02
摘要：本发明公开了一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法，包括如下步骤：步骤A，在单模光纤上切割出一个与光纤轴向呈90°垂直的端面，并对所述端面进行打磨抛光；步骤B，利用溅射或化学气相沉积方法在所述端面上生长一层高折射率均匀薄膜，作为波导层；步骤C，利用光刻加刻蚀方法在波导层的表面制备光栅结构；所述光栅结构的区域尺寸不小于20×20微米；步骤D，利用聚焦离子束系统在光栅区两个相对位置分别刻蚀一个沟槽；步骤E，利用聚焦离子束系统在两个沟槽的内侧壁上沉积一层约300nm厚度的贵金属薄膜。该方案可以有效提高光纤RWG结构的共振信号，提高信噪比，从而可以达到实用化要求。

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