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摘 要:本发明公开了一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器,所述横向热电薄膜外延地生长在所述斜切衬底表面;所述第一电极与所述第二电极分别设置在所述横向热电薄膜表面沿斜切衬底方向两端;所述具有超结构表面的红外吸收器设置在所述第一电极与所述第二电极之间,与所述横向热电薄膜耦合在一起,且与所述第一电极、所述第二电极绝缘;本发明的有益效果为实现对中远红外光的高效探测和快响应探测;可以实现对中远红外光的室温探测;实现对特定波长的红外光的选择性探测,实现对不同偏振光的选择性探测,可应用于非色散红外气体传感器。结构简单,通过薄膜沉积工艺制作,制作工艺与COMS工艺兼容,易于规模化生产。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010424023.0 | 专利名称: | 一种超结构表面耦合横向热电薄膜的光探测器及制作方法 |
申请日: | 2020-05-19 | 申请/专利权人 | 云南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 云南省昆明市五华区翠湖北路2号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01J5/12搜分类 发电 探测 表 塑料 光探搜索 |
公开/公告日: | 2022-06-10 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN111562020B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |