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摘 要:本发明属于探测器技术领域,具体涉及一种太赫兹波探测器,以六氯铱酸铵、二辛基锡、九水合硝酸铝、乙醇和丙酸、氢氧化钾甲醇溶液、过氧苯甲酸叔丁酯、乙酸锰、硝酸钴、三茂钐为原料制备支撑层前驱体;以氧化石墨烯、环氧树脂、单硬脂酸甘油酯与二苯基硅二醇、石蜡为原料制备隔离层前驱体;将纳米粉加入隔离层前驱体中,再加入碳纳米管,制备加强层前驱体;在耐热基底上依次涂覆隔离层前驱体、加强层前驱体、支撑层前驱体,得到衬底;在衬底上利用外延法制备铝镓氮/镓氮层;然后制备有源区台面、栅介质、欧姆接触窗口、电极,从而得到太赫兹波探测器,在室温条件下对THz波实现高速、高灵敏度、高信噪比探测。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810837978.1 | 专利名称: | 太赫兹波探测器 |
申请日: | 2017-06-26 | 申请/专利权人 | 苏州科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省苏州市苏州高新区科锐路1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | H01L31/113搜分类 探测搜索 |
公开/公告日: | 2019-11-05 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN109004060B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |