发明专利已授权

一种相变-热分解型复合光刻胶的纳米光刻方法

Name: 一种相变-热分解型复合光刻胶的纳米光刻方法
Brand: 苏州科技大学
SKU: 2020103053909
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010305390.9 📄 发布日：2026/03/30

著录项目信息

申请日

2020-04-17

公开号

CN111367146B

公开日

2022-08-26

申请人

苏州科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03F7_09

IPC 分类号

G03F7_09 , G03F7_20 ,

技术画像

所属领域

纳米光刻纳米光刻光刻胶材料微纳加工技术

应用场景

集成电路制造, 芯片制造, 微纳器件加工, 半导体器件, 光学器件

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

一种相变‑热分解型复合光刻胶的纳米光刻方法：在基片(1)上沉积一层相变薄膜(2)，在相变薄膜(2)上沉积一层热分解型薄膜(3)，得到相变‑热分解型复合光刻胶；利用激光直写光刻系统(4)对相变‑热分解型复合光刻胶进行曝光，相变薄膜受激光照射产生相变形成相变区，并释放相变潜热，相变潜热加热相变区(5)上方的热分解型薄膜并使其分解，从而在热分解型薄膜上直接形成纳米通孔(6)；利用反应离子刻蚀系统(7)刻蚀相变‑热分解型复合光刻胶，使纳米通孔(6)下方的相变薄膜被刻蚀，最终得到纳米结构。本发明提供了一种操作简单、成本低廉、加工速度快，光刻分辨率高的纳米光刻方法。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN111367146B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于零力控制的机器人标定方法

当前第 / 件

阻燃剂笼状有机硅磷酰胺化合物及其制备方法

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_09)

G03F7_00 G03F7_004 G03F7_033 G03F7_09 G03F7_11 G03F7_16 G03F7_20 G03F7_30 G03F7_38 G03F7_40 G03F7_42 覆盖11个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：82 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种相变-热分解型复合光刻胶的纳米光刻方法

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G03F7_09)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种超构表面耦合元件的制作方法

一种光栅偏振片及其优化方法和制备方法

方形螺旋硅漂移探测器及其制备方法

服务项目

资源中心

关于柿子坊