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  • 专利名称:一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法      申请号:2019101132373     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:激光 波导激光   相似专利 发布日:2024/07/02  
    摘要: 本发明提供一种新型“面发射”型波导激光谐振腔的设计和制备方案,属于集成光子学器件制备技术领域。在晶体片的侧面制备三条波导,其中两条较短的波导垂直于晶体大面,另一条较长的波导作为主谐振腔,并与前两条波导垂直。三条波导相连构成类“之”字形。利用精密金刚石刀切割的方法,在波导连接处分别切割形成两个沟槽作为全反射镜。其特点及优势主要包括:1.实现了类似半导体VCSEL激光器的面发射特性,有利于波导激光的后续封装;2.使波导激光器结构更为紧凑,降低了光路校对的难度,提高了系统稳定性;3.适用于各类全晶体波导激光器,易于推广。
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