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专利名称:
一种全光控SiC高压器件及其制造方法
申请号:
2021106867871
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
C IC 器件 高压器件
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发布日:2022/10/26
摘要: 本发明公开了一种全光控SiC高压器件,包括采用n型SiC材料制作的衬底;衬底的上表面外延有n型缓冲层;在n型缓冲层上表面外延有n型漂移区;在n型漂移区上表面分别注入有p型结区和p型基区;在p型基区上表面注入有n型发射区;在p型结区与p型基区之间的n型漂移区上表面沉积有介质层;p型结区、p型基区、n型发射区以及介质层上表面共同覆盖有阴极,n型发射区其余上表面还覆盖有光电极,光电极与阴极互联;衬底下表面覆盖有阳极。本发明还公开了一种全光控SiC高压器件的制造方法。本发明的全光控SiC高压器件及其制造方法,解决了现有技术中的SiC电控器件驱动控制电路复杂、极端环境耐受能力弱的问题。
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