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  • 专利名称:一种半导体表面清洗剂及其制备方法      申请号:2015105932897     转让价格:面议  收藏
    法律状态:已下证   类型:发明   关键词:15天   相似专利 发布日:2024/10/09  
    摘要: 本发明实施例公开了一种半导体表面清洗剂,按重量份包括如下组份:氟碳溶剂10‑60份、氢氟醚10‑60份、有机醇1‑20份、表面活性剂1‑20份、螯合剂1‑15份和稳定剂1‑15份。本发明半导体表面清洗剂含氟代化合物,因而不易燃、挥发速率快,不含破坏环境的氟氯烃类化合物,对半导体表面污垢具有较好的溶解、清洗性能,适用于半导体表面残留物、助焊剂、松香、树脂、油污、指印、灰尘的清洗,清洗效果良好。也可用在电子、数码、太阳能工业产品的表面清洗上。
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