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专利名称:
一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法
申请号:
2015104471588
转让价格:面议
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法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
Sm2O3薄膜材料制备 光电薄膜材料 能量转化材料 化工
相似专利
发布日:2025/01/23
摘要: 本发明公开一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法,包括:将分析纯的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶剂中,配制成Sm3+浓度为0.1~0.5mol/L的溶液;待溶解完全后,向其中加入醋酸酐溶剂,室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液;滴加适量配制好的前驱液于基板表面,并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀;将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200~500℃进行退火;退火完成后随炉冷却至室温,再重复旋涂退火工艺,直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。该反应的原料易得且成本低,工艺设备简单,溶胶粒径均匀,能耗低,且该反应在常温常压下进行,安全性好,可行性强。
专利名称:
一种基于胶溶法配置溶胶的溶胶-凝胶法制备Sm2O3薄膜的方法
申请号:
2015104475019
转让价格:面议
收藏
法律状态:已下证 类型:发明 关键词:
Sm2O3薄膜材料制备 光电薄膜材料 能量转化材料 化工
相似专利
发布日:2025/01/23
摘要: 本发明公开一种基于胶溶法配置溶胶的溶胶-凝胶法制备Sm2O3薄膜的方法:1)将分析纯的SmCl3·6H2O溶解于去离子水中;用氨水溶液调节其pH并得到白色沉淀;2)对白色沉淀进行离心洗涤去除过多的Cl—和NH4+;3)用水将洗涤干净的白色沉淀洗水成悬浮液;用胶溶剂对悬浮液进行胶溶,调节pH至3~6,得淡蓝色透明溶胶;4)将洗净的玻璃基板或硅基板以匀速浸入溶胶并停留后匀速提拉出来进行干燥,干燥后再次镀膜,以此反复多次,将镀好的薄膜置入马弗炉中在300~500℃下煅烧1~3h得到Sm2O3薄膜。本发明方法设备要求低、工艺简单,且操作简便、能耗低、容易控制、安全性好。
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