一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法

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摘     要：本发明公开一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，包括：将分析纯的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。该反应的原料易得且成本低，工艺设备简单，溶胶粒径均匀，能耗低，且该反应在常温常压下进行，安全性好，可行性强。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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