发明专利已授权

AFM针尖磨损测量方法

📄 申请号：CN201810720887.X 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2018-07-04

公开号

CN108761137B

公开日

2019-10-22

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01Q40_00

IPC 分类号

G01Q40_00

技术画像

所属领域

原子力显微镜原子力显微镜磨损测量纳米计量

应用场景

半导体检测, 材料表面分析, 纳米技术研究, 质量控制, 仪器校准

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摘要

本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法，属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤，基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1；基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2；根据所述台阶宽度L1和L2的差值，获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法，通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构，并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数，操作简单，可以实时进行测量，为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据，测量结果真实可靠。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20191022

✅ 授权

20181130

?? 实质审查的生效：

一种磷铌氧化物的制备方法

当前第 / 件

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：53 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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