发明专利 已授权

一种三自由度柔性并联运动平台及系统

📄 申请号:CN202211618791.5 📄 发布日:2025/11/17

著录项目信息

申请日
2022-12-15
公开号
CN116092571A
公开日
2023-05-09
申请人
齐鲁工业大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

精密定位, 工业自动化, 微纳操作, 半导体制造设备, 机器人

摘要

本发明公开了一种三自由度柔性并联运动平台及系统,涉及微运动平台技术领域,采用微型直线伺服驱动器配合变直径螺旋型柔性铰链驱动动平台,能够实现动平台可在大行程运动范围的同时保证其运动精度,并进一步增加了视觉检测系统,对动平台的位姿进行在线高精度测量,形成闭环反馈控制,解决开环带来的运动误差;具体方案如下:一种三自由度柔性并联运动平台,包括固定平台,固定平台上设有三条支链和动平台,三条支链呈120°旋转对称均匀分布在动平台外围,每条支链一端连接动平台,另一端连接微型直线伺服驱动器,所述支链包括至少两个串联的变直径螺旋型柔性铰链,微型直线伺服驱动器驱动支链位移以实现动平台水平和竖直方向的位移。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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G12B5_00 覆盖1个领域

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