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| 专利/申请号： | CN202322592256.3 | 专利名称： | 一种晶圆键合自动连通管路 |
| 申请日： | 2023-09-22 | 申请/专利权人 | 深圳市煌铭旺和五金有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 广东省深圳市龙岗区坪地街道六联社区吉坑鹤鸣东路90号2栋 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2023-04-21 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN218891017U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 5 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
应用场景：晶圆键合工艺中的流体自动传输;提高键合设备清洁度与工艺稳定性
摘 要：本实用新型公开了一种晶圆键合自动连通管路，主要涉及晶圆键合领域。包括密封外管道，所述密封外管道连通离子束刻蚀机与热压炉，使得离子束刻蚀机与热压炉之间连通；所述密封外管道内部设有晶圆移动装置和晶圆辅助定位输送装置；所述晶圆移动装置为传送带，所述晶圆辅助定位输送装置包括升降气缸、晶圆取出气缸和晶圆送入气缸。本实用新型的有益效果在于：能够实现从离子束刻蚀机到热压炉的过程无需人工手动操作，并且全程处于真空状态，减少对晶圆的损伤。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2024/04/26 | 授权 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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