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本发明涉及复合全息光刻系统和方法，包括：照明子系统、数据处理子系统、复合光场输出子系统和感光材料平台，照明子系统包括光源、物光照明机构和参考光照明机构，物光照明机构包括多个物光照明通道，参考光照明机构包括多个参考光通道；数据处理子系统用于接收三维图像信息或三维结构信息，并将三维图像信息或者三维结构信息转换为波前信息，并将波前信息按照视角分组形成多个子区域；编码子波前信息形成对应的复合子光场信息，并将复合子光场信息输入至复合光场输出子系统；复合光场输出子系统用于接收照明子系统的多个物光通道的光，接收处理子系统的多个复合子光场信息，将复合子光场传输至感光材料平台所承载的感光材料上。实现了大面积、高分辨率的衍射结构和图案的输出。

本发明公开了一种多参量调谐的全息打印光刻系统，包括：照明子系统，用于发出光线；照明子系统连接有显示与成像子系统，用于形成光斑；显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统，用于调整参量；结合了计算全息图打印技术和全息体视图打印技术的优势，可以实现拥有复杂波前调制能力的体全息器件的制作，能够调整参考光和物光的夹角，能够调整参考光的照明模式，适应再现时非准直的复杂照明光场的应用需求。