发明专利已授权

一种多参量调谐的全息打印光刻系统

📄 申请号：CN202210481399.4 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2022-05-05

公开号

CN114911149B

公开日

2025-12-19

申请人

浙江理工大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G03H1_04

IPC 分类号

G03H1_04 , G03H1_26 ,

技术画像

所属领域

全息光刻全息光刻光学系统设计微纳制造技术

应用场景

半导体制造, 微纳加工, 光学器件制造, 全息打印, 衍射光学元件制造

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摘要

本发明公开了一种多参量调谐的全息打印光刻系统，包括：照明子系统，用于发出光线；照明子系统连接有显示与成像子系统，用于形成光斑；显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统，用于调整参量；结合了计算全息图打印技术和全息体视图打印技术的优势，可以实现拥有复杂波前调制能力的体全息器件的制作，能够调整参考光和物光的夹角，能够调整参考光的照明模式，适应再现时非准直的复杂照明光场的应用需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种稀土颜料光固化色浆及其制备方法

当前第 / 件

一种先驱体转化制备连续陶瓷纤维的装置及方法

同领域国内专利 · IPC: (G03H1_04)

G03H1_00 G03H1_02 G03H1_04 G03H1_08 G03H1_16 G03H1_22 覆盖6个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：65 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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