发明专利已授权

一种高精度微动位移产生装置

📄 申请号：CN201911237820.1 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-12-06

公开号

CN110853697B

公开日

2024-05-03

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G12B5_00

IPC 分类号

G12B5_00

技术画像

所属领域

精密运动控制精密运动控制微位移驱动压电驱动机构

应用场景

精密定位, 光学对准, 半导体制造, 显微操作, 精密测量仪器

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摘要

一种高精度微动位移产生装置，包括微动位移产生装置、激光测距及合力测量装置、位移传导装置、试样夹具装置、控制及数据采集装置；位移传导装置包括三个平行设置的第一支撑板、第二支撑板和第三支撑板，第二支撑板可滑动地嵌设在第一支撑板内，第三支撑板可滑动地嵌设在第二支撑板内；第三支撑板的两端相对有第一推块、第二推块，第二支撑板的两端相对设置有微动位移产生装置、激光测距及合力测量装置；第一推块的左端与微动位移产生装置固定连接，第二推块的右端与激光测距及合力测量装置抵接；第三支撑板的中部设有用于放置试样的试样槽。本发明可以产生高精度的微动位移，测量位移分辨率高。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

二甲氧基苯氨基乙酰氨基喹唑啉类化合物在制备治疗白血病药物中的应用

当前第 / 件

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