专利名称：一种便于夹取的晶圆传送机械臂
申请号：202311556548X
转让价格：面议 收藏
法律状态：已下证
类型：发明
关键词：半导体制造设备 机械自动化 传送机械
相似专利
发布日：2025/09/26
应用场景：晶圆生产过程中的传送与夹取；提高半导体制造效率；防止晶圆损伤
专利名称：工业上自动化传送机械装置
申请号：201410758279X
转让价格：面议 收藏
法律状态：已下证
类型：发明
关键词：自动化技术 传送机械
相似专利
发布日：2025/07/09
摘要： 本发明涉及目动化传送机械装置，具体涉及工业上自动化传送机械装置。所述的控制柜、立柱油缸与所述的电机台安装在地板上。控制柜上设有指示灯，电机台上安装有减速器与电动机；立柱安装在立柱油缸上，立柱也就是立柱油缸的活塞杆；立柱的上端安装有旋转盘，旋转盘与小齿轮相啮合安装，小齿轮安装在伺服电机的输出轴上，小齿轮与伺服电机的输出轴是通过普通平键连接；所述的旋转盘上端安装有手臂伸缩缸与导向杆，活塞杆安装在手臂伸缩缸的一端；采用本发明可以大大降低工人劳动强度，节约劳动时间，同时能大幅度提高劳动生产率。本发明采用了机械化、自动化、液压传动技术、可编程控制器技术、无线遥控技术等，PLC编程简单，使用方便。
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