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摘 要:本实用新型属于氦气回收技术领域,尤其是一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构,针对背景技术提出的需要净化有毒气体的问题,现提出以下方案,包括第一净化器,所述第一净化器一侧设置有温控组件,且温控组件包括设置于第一净化器一侧的加热箱、通过导线连接于加热箱一端外壁上分控开关、通过导线连接于分控开关一侧外壁上的等距离分布的加热器。本实用新型通过温控组件中的加热器调节温度,可调节出毒气反应时的最适应温度,加快了毒气第一净化器、第二净化器和第三净化器中的液体发生反应速度,提高了反应的效率,净化后的氦气通过海绵、氯化钙干燥剂和活性炭的相互配合,能够吸收掉氦气中的水分,保证了氦气的纯净。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122136508.2 | 专利名称: | 一种半导体行业氦气回收用有毒气体净化机构 |
申请日: | 2021-09-06 | 申请/专利权人 | 陈华勇 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 广东省佛山市南海区大沥镇沥东荔庄荔新一路南一街48号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 半导体 相似专利 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |