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摘 要:本实用新型公开了一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备,包括箱体、箱门、隔板、过滤机构、水洗机构、除尘机构、收集机构,所述隔板焊接于箱体内壁,且隔板将箱体内部从左到右依次分隔为过滤腔、水洗腔、第一除尘腔、第二除尘腔,水洗腔内部盛放有有机溶液,所述箱门与箱体铰接,且箱门内壁设置有密封垫,箱门分别与过滤腔、水洗腔、第一除尘腔、第二除尘腔相适配,所述箱体靠近过滤腔一侧外壁设置有进气管。本实用新型中,废气经过滤腔初步过滤后再通入水洗腔进行水洗,对废气进行净化,水洗后的废气经第一除尘腔与第二除尘腔再次除尘,相比于传统装置,多次对废气进行处理,将废气中的有害物质去除,降低废气排放对环境的影响。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202122136681.2 | 专利名称: | 一种刻蚀和沉积工艺末端含氦废气的收集设备 |
申请日: | 2021-09-06 | 申请/专利权人 | 苏州咏昕恒能源科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省苏州市吴江区盛泽镇西二环路1188号中国盛泽纺织科创园10号楼103室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 废气处理 相似专利 |
公开/公告日: | 2022-03-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN215997094U | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |