本发明公开了一种基于三张光刻版解决电极短路问题的压电MEMS换能器制备方法，包括以下步骤：在硅晶圆的上表面由下至上依次制备下电极层、压电薄膜层和上电极层；在硅晶圆的下表面生长绝缘层；分别对硅晶圆上表面、下表面使用光刻板进行第一轮光刻，暴露出上电极和下电极；分别在硅晶圆上、下表面生长Au，镀在上电极表面和下电极表面；分别在硅晶圆上、下表面使用光刻板进行第二轮光刻，上表面刻蚀至压电薄膜层，下表面刻蚀至下电极层。本发明将上下电极分别设置于硅晶圆的上下表面，从根本上避免了器件短路的问题，极大的提高了成品率。同时本发明仅用3张光刻版，整个工艺流程简洁，降低了时间成本及工艺难度，提供了生产效率。
📄 2024104408615
📂 H10N30_06
👤 济南大学
📅 2024-04-12
本发明公开了双棒型超磁致伸缩换能器，包括两根并列的超磁致伸缩棒，每根超磁致伸缩棒的棒身均绕有线圈，两根超磁致伸缩棒的一端通过上导磁片连接，上导磁片远离线圈的一端设有后盖板，两根超磁致伸缩棒的另一端通过下导磁片连接，还包括轴向固定装置，轴向固定装置依次将上导磁片、两根超磁致伸缩棒、下导磁片轴向固定；本发明的换能器解决了漏磁的问题，还增设一些散热结构，保证换能器高效稳定工作；本发明还公开了安装上述换能器的主轴，该主轴也解决了漏磁的问题，同时增设有一些通气孔、排气槽等结构，将换能器在工作过程中产生的热量及时散出，保证主轴的工作效率。
📄 2019107582561
📂 B06B1_08
👤 西安超克能超声技术研究院有限公司
📅 2019-08-16
本发明提供一种超宽带水声换能器，包括壳体及安装在壳体中的水声换能器本体，水声换能器本体包括依次设置的五个压电陶瓷圆管，相邻压电陶瓷圆管之间通过塑料泡沫隔开，五个压电陶瓷圆管及塑料泡沫相互压紧后固定在壳体内，换能器在外加电压信号的激励下，振动模态由内向外扩张，从而引起换能器做径向振动并向外辐射声波能量，通过调整五个压电陶瓷圆管纵向排列的距离，控制谐振频率处的发射电压响应值，表现在频率响应曲线上一组相邻峰谷之间差值减少，即发射电压响应在工作频带内起伏减小，换能器非谐振频率处的发射电压响应幅度几乎没有下降，实现了换能器工作频带的展宽，整体结构及制作工艺简单且成本低。
📄 2016106068488
📂 H04R1_44
👤 陕西师范大学
📅 2016-07-28
本发明公开了一种小尺寸大振幅螺旋弹簧低频换能器，包括带螺旋槽圆柱管、后盖板、两端带螺帽的预应力螺杆和压电陶瓷环，依次设置的带螺旋槽圆柱管，压电陶瓷圆环及后盖板，三者通过一根预应力螺杆连接，换能器在外加电压信号的激励下，引起换能器做纵向振动并向外辐射声波的能量，换能器由多组相同尺寸的压电陶瓷环沿轴向排列组成形成激励，带动带螺旋槽的圆柱管的振动，实现换能器表面振幅的增大，通过调整带螺旋槽圆柱管上的槽宽，槽的条数及铝管的内外径，控制整体的特征频率以及本体表面的位移振幅，实现了换能器的低频小尺寸大位移。
📄 2017107079107
📂 H04R17_00
👤 陕西师范大学
📅 2017-08-17
本发明公开了一种小尺寸周向螺旋开槽纵向振动水声换能器，包括换能器本体，所述的换能器本体包括依次连接的后盖板、压电陶瓷堆、前盖板以及前端切割体，所述的压电陶瓷堆采用压电陶瓷片和电极片交错压合而成，且压电陶瓷堆的两端均为电极片，压电陶瓷片的一端通过电极片连接至正极引线，另一端通过电极片连接至负极引线，正极引线和负极引线连接至激励源。本发明实现了换能器在50Hz-1000Hz频率范围的低频发射。此外，该换能器具有整体尺寸小，结构及制作工艺简单，成本低的特点。
📄 2017107079272
📂 H04R1_44
👤 陕西师范大学
📅 2017-08-17
本发明涉及一种周期结构开槽圆管纵‑径振动转换水声换能器及换能方法，其中换能器包括依次连接的防水电缆、后盖板、压电陶瓷堆、密封套、喇叭形前盖板、开槽圆管、喇叭形前盖板、密封套、压电陶瓷堆、后盖板、防水电缆、螺杆以及螺帽；压电陶瓷堆采用压电陶瓷片和电极片交错压合而成，且压电陶瓷堆两端均为电极片，压电陶瓷片的一端通过电极片连接至正极引线，另一端通过电极片连接至负极引线，压电陶瓷堆的正极引线和负极引线通过后盖板的穿线孔连接至防水电缆。解决了有技术中低频换能器尺寸较大的问题。本发明的周期结构开槽圆管径向振动水声换能器550Hz‑2000Hz频率范围有平坦的发射电压响应。此外，该换能器具有整体尺寸小，结构及制作工艺简单，成本低的特点。
📄 2017110007458
📂 G10K9_12
👤 陕西师范大学
📅 2017-10-24
本发明涉及一种具有声子晶体匹配及辐射复合结构的宽带气介超声换能器，其结构是在壳体的辐射端面上设置有能够改变振动模态和声匹配的穿孔匹配板，在穿孔匹配板上层叠设置有可产生平面径向振动模态的压电元件，以压电元件为激励源，可以激发穿孔匹配板产生弯曲振动并辐射超声波；本发明不但改善了传统的气介超声换能器的声匹配问题，而且可以增大带宽，改善换能器的声波辐射，提高换能器的分辨率和作用范围。
📄 2018103441396
📂 B06B1_06
👤 陕西师范大学
📅 2018-04-17
本发明提出了一种低频窄波束换能器及换能方法与应用，属于声换能器技术领域，其具体包括前盖板和后盖板，其还包括振动辐射板和压电陶瓷晶堆，振动辐射板设置在前盖板的振动输出端，压电陶瓷晶堆设置在前盖板与后盖板之间。本发明的低频窄波束换能器能够控制换能器谐振频率处的发射电压响应值与波束宽度，实现低频窄波束的小尺寸换能器，使换能装置整体结构及制作工艺简单且成本低、能耗降低。
📄 2019108948541
📂 B06B1_06
👤 陕西师范大学
📅 2019-09-20
本发明提供一种旋转超声换能器套筒双法兰支撑装置，本发明将主轴里锥面与主轴分开，改为设置在套筒上，可以解决主轴的里锥面因为较深而难以加工问题。套筒的锥面加工方便，可以加工出要求的锥面。装配时，便于两组锥面同时紧密配合。通过磨配套筒长度，使两组锥面同时紧密配合。
📄 2017104695785
📂 B06B1_06
👤 广东工业大学
📅 2017-06-20
本实用新型涉及一种结构梁检测用升降型换能器放置装置，包括下基座、可跨设在结构梁底部的上基座和用于使上基座作升降运动的剪刀式连接组件，剪刀式连接组件上、下端分别连接上基座和下基座。下基座底部安装有若干滚轮，发射换能器和接收换能器分别固定在上基座顶部左、右侧位置。本实用新型结构简单，使用完后可压缩体积，减小占地。通过剪刀式连接组件，可使上基座升降，以适用不同高度的结构梁检测使用，适用性较强。单根混凝土梁检测完成后，在保证放置装置整体性的前提下，可通过下基座的滚轮快速移位至下一待测对象，操作简单。本实用新型可大大提高结构梁检测效率。
📄 2020214943863
📂 G01N29_22
👤 金陵科技学院
📅 2020-07-23
本实用新型公开了一种超声波外置式换能器用拆装工具，包括有承载板，所述承载板地底端固定安装有万向轮，且承载板底端固定连接有第一轴承，所述第一轴承顶端转动连接有套管，且套管内部螺纹连接有螺纹杆，所述有螺纹杆顶端固定连接有托板，且托板顶端固定连接有支撑板，所述支撑板一端安装有拆装机构。本实用新型中，在拆装机构的作用下，套筒可以套接在换能器的固定螺栓表面，通过液压杆，可以带动抵板挤压固定螺栓，使其能够对不同尺寸的螺栓进行松懈动作，无需更换不同尺寸的套头，操作便捷，通过电动机的带动，可以带动套筒转动，从而能够松动，或紧固螺栓，防止固定螺栓长期受腐蚀，手动无法松动的情况发生。
📄 2021208243312
📂 B25B27_14
👤 新乡市正方机械设备有限公司
📅 2021-04-21
本实用新型公开了一种结构稳固便于安装的超声波换能器壳体，包括有上壳体，所述上壳体底端活动连接有下壳体，且下壳体内部活动套接有信号电缆，所述信号电缆顶端固定连接有挡圈，且挡圈顶端固定连接有接线板，并且接线板顶端嵌合连接有导电柱，所述导电柱顶端固定连接有压点片，且压点片顶端涂抹有高温导电胶，所述导电柱与上壳体内壁之间填充有吸声颗粒，所述上壳体与下壳体之间安装有拆装机构。本实用新型中，在拆装机构的作用下，通过挤压卡块，可以使其卡块挤压着压缩弹簧压缩凹槽内，从而能够拉动插接在上壳体内的插杆，便于上壳体与下壳体之间的拆装作业，便于后期拆开壳体，对其内部的元器件进行检修作业。
📄 202120822530X
📂 B06B1_06
👤 新乡市正方机械设备有限公司
📅 2021-04-21
柿子坊 · 知识产权运营
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