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本实用新型公开了一种晶圆光刻设备，包括底板，所述底板顶部的后侧固定连接有背板，所述背板的顶部固定连接有顶板，所述底板顶部的左侧固定连接有定位座，所述底板顶部的右侧固定连接有晶圆放置盒，所述顶板的表面开设有方槽。本实用新型通过电动伸缩杆的启动带动吸盘机械手向下移动，使其与晶圆表面接触对其进行抓取，螺块移动到方槽左方时晶圆位于定位座的正上方，使电动伸缩杆伸展，晶圆的下表面与定位座接触，同时使吸盘机械手解除对晶圆的抓取，以此达到了可以便捷的将晶圆放置在定位座的上方，无需工作人员手动对晶圆进行移动，避免了晶圆在移动时出现碰撞损坏的情况，提高晶圆光刻的良品率，方便使用者使用的效果。