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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

0本发明涉及精密测量仪器技术领域，具体涉及一种三维解耦型扫描测头。本发明包括XY向测量机构、Z向测量机构、测头外壳、测杆、弹簧平衡机构，该测头通过三组相互垂直安装的膜片导向机构，构成X向、Y向、Z向运动导轨，且三个方向上分别安装有一个电感传感器用来测量测针在X、Y、Z三个方向的微位移。本发明的测头在三个方向上相互解耦，结构紧凑，体积小，测量精度高，灵敏度高,长期使用稳定性好，且可以实现一维、二维和三维扫描测量。

📄 2018114527225 📂 G01B7_00 👤 陕西蓝海秦工科技有限公司 📅 2018-11-30

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一种三维解耦型扫描测头

2018114527225 · 陕西蓝海秦工科技有限公司

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