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一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法，将Co3O4薄膜放入磁控溅射仪的样品台，TiO2靶材放入射频靶位，向镀膜室通入Ar气，设置TiO2射频靶位的电源功率为100W～400W，溅射时间为5min～60min，溅射同时对样品台加热，加热温度为500℃～700℃，溅射完成后，得到二氧化钛/四氧化三钴复合薄膜。本发明制备出的薄膜在可见光激发条件下对环境湿度非常灵敏，并且工艺可控性强、薄膜的组成、结构、性能易于调控，光激发下湿敏性突出。

📄 2018100920755 📂 C23C14_08 👤 陕西深蓝机电工程有限公司 📅 2018-01-30

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一种光激发二氧化钛/四氧化三钴湿敏薄膜的制备方法

2018100920755 · 陕西深蓝机电工程有限公司

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