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全部发明实用新型外观设计

法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

发明已授权

本发明涉及微纳材料制备技术领域，公开了一种氧化锌薄膜及其制备方法和应用，该薄膜上具有至少一个纳米环状周期性结构的图案，各纳米环状周期性结构中均具有若干纳米环；各纳米环的线宽均为40～200 nm，槽深均为40～80 nm；周期均为80～400 nm；制备方法为：制备纳米环状周期性结构的光刻胶母板；使用该母板通过软纳米压印光刻技术制备纳米环状周期性结构的柔性转移模板；将柔性转移模板置于已经旋涂成膜的氧化锌前聚体上，加热加压后移除柔性转移模板得氧化锌薄膜。本发明中的氧化锌薄膜结晶程度高，形貌均匀有序，能实现对光的有序调控，增强电子迁移复合，具有广阔的应用前景。

📄 2018101950599 📂 H01L21_02 👤 湖南省盛联金属制品有限公司 📅 2018-03-09

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氧化锌薄膜及其制备方法和应用

2018101950599 · 湖南省盛联金属制品有限公司

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