专利交易市场

本申请提供一种甩胶温度控制方法、系统、甩胶机及可读存储介质，采集光掩膜基板的甩胶温度时序数据，对甩胶温度时序数据进行差错删除和缺失填补后，得到完备甩胶温度时序数据，将完备甩胶温度时序数据矩阵化得到甩胶温度数据矩阵；根据甩胶温度数据矩阵确定甩胶温度协方差矩阵，进而确定初始甩胶温度特征矩阵；根据初始甩胶温度特征矩阵确定甩胶温度差错因子，进而确定甩胶温度特征矩阵；根据甩胶温度特征矩阵和完备甩胶温度时序数据确定低维甩胶温度时序数据，通过低维甩胶温度时序数据和感光胶材料参数确定感光胶温度预测值；通过感光胶温度预测值与预设甩胶温度区间的比较结果对感光胶温度进行控制，以解决感光胶温度预测精度低的技术问题。