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实用新型已授权

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，且公开了一种PE管的外部快速气相沉积装置，包括一级沉积室，所述一级沉积室的上方设置有排气涡轮，所述一级沉积室内对应排气涡轮的上方设置有吸气口，所述一级沉积室内部的底部设置有调整丝杆，所述调整丝杆上设置有两个二级沉积室，所述一级沉积室的下方设置有供气盒。该PE管的外部快速气相沉积装置，通过设置两个缓冲区，有效提高了核心反应区的气体浓度，减少了反应气的泄漏，节约成本的同时，有效保证反应质量，多余的气体溢出二级沉积室后在一级沉积室内继续缓慢反应，两次反应的方式大大提高了沉积速度，可以有效提高生产效率，解决产能不足的问题。

📄 2023216753547 📂 C23C16_44 👤 江西建邦装配式建筑有限公司 📅 2023-06-29

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一种 PE 管的外部快速气相沉积装置