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本发明属于晶体合成技术领域,具体涉及一种利用微波等离子体化学气相沉积法在钽铌酸钾晶体上制备金刚石薄膜的方法,包括如下步骤:1)将钽铌酸钾晶体置于微波等离子体化学气相沉积装置的腔体中,将腔体抽真空后,通入氢气,调节氢气流量、气压和微波功率,产生等离子体包裹钽铌酸钾晶体以实现对其加热,并调节真空微调阀使腔内气压保持在11kPa‑12kPa范围之内;2)待压强和等离子体状态稳定后,对步骤1)所述腔体内通入甲烷,控制甲烷和氢气的通入流量比,再调节真空微调阀使腔内气压保持在11kPa‑12kPa范围之内;待通入甲烷6‑9h后关闭微波源,待腔体冷却,取出样品,得到在钽铌酸钾晶体上制备的金刚石薄膜。该方法有制备工艺简单,制备金刚石膜质量高,生长速度快等优点。
📄 2021107565154 📂 C23C16_27 👤 武汉普迪真空科技有限公司 📅 2021-07-05
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本发明提供了一种用于焊接CVD金刚石与硬质合金的装置、方法及其应用,所述装置包括:一石墨模具,所述石墨模具包括容纳CVD金刚石与硬质合金的试样腔以及与所述试样腔配合的盖体;一焊接腔室,所述焊接腔室内包括升温装置、进气口及抽气口;所述升温装置与所述石墨模具连接,用于对所述石墨模具加热;所述进气口与保护气体进入装置连接,用于向所述焊接腔室内通入保护气体;所述抽气口与抽真空装置连接,用于对所述焊接腔室进行抽真空。本发明方法保证了CVD金刚石与硬质合金的焊接过程在高真空,有保护性气氛的环境中进行,避免了大气中有害气体对焊接界面性能的影响,显著提高了硬质合金与CVD金刚石焊接的质量与连接处的稳定性,提高了焊接的效率。
📄 2016112454998 📂 B23K1_002 👤 武汉普迪真空科技有限公司 📅 2016-12-29
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发明 已授权
发明 已授权

一种用于焊接CVD金刚石与硬质合金的装置、方法及其应用

2016112454998 · 武汉普迪真空科技有限公司
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