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发明已授权

本发明公开了一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，该方法可以用来改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触。首先，该方法通过离子注入技术，将钨与钛作为掺杂元素，注入区域为氧化钒薄膜中与钛电极接触的区域。其次，注入元素选择钨与钛可以有效降低氧化钒接触区域的电阻，获得优异的金半接触，从而降低氧化钒本身的1/f噪声，有助于获得低噪声器件；此外通过掺杂钨元素还可以提高氧化钒薄膜TCR，提升器件信噪比。第三，离子注入后的热处理方式为脉冲电流快速退火，可以实现晶格修复，同时快速退火可以避免升温过程中的失氧，从而减小氧空位，使氧化钒电阻不会降低太多。

📄 2022103895501 📂 B81C1_00 👤 成都市精鹰光电技术有限责任公司 📅 2022-04-13

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一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法