发明专利已授权

一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法

📄 申请号：CN202210389550.1 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2022-04-13

公开号

CN114772546A

公开日

2022-07-22

申请人

成都市精鹰光电技术有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B81C1_00

IPC 分类号

B81C1_00 , G01J5_20 ,

技术画像

所属领域

红外探测技术红外探测技术 MEMS器件制造氧化钒薄膜工艺

应用场景

红外热成像, 安防监控, 工业测温, 车载夜视

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摘要

本发明公开了一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，该方法可以用来改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触。首先，该方法通过离子注入技术，将钨与钛作为掺杂元素，注入区域为氧化钒薄膜中与钛电极接触的区域。其次，注入元素选择钨与钛可以有效降低氧化钒接触区域的电阻，获得优异的金半接触，从而降低氧化钒本身的1/f噪声，有助于获得低噪声器件；此外通过掺杂钨元素还可以提高氧化钒薄膜TCR，提升器件信噪比。第三，离子注入后的热处理方式为脉冲电流快速退火，可以实现晶格修复，同时快速退火可以避免升温过程中的失氧，从而减小氧空位，使氧化钒电阻不会降低太多。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250606

✅ 授权

20220826

?? 实质审查的生效：

20220722

📄 公开

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