一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法

摘     要：本发明公开了一种改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触的方法，该方法可以用来改善微测辐射热计中氧化钒与钛电极接触。首先，该方法通过离子注入技术，将钨与钛作为掺杂元素，注入区域为氧化钒薄膜中与钛电极接触的区域。其次，注入元素选择钨与钛可以有效降低氧化钒接触区域的电阻，获得优异的金半接触，从而降低氧化钒本身的1/f噪声，有助于获得低噪声器件；此外通过掺杂钨元素还可以提高氧化钒薄膜TCR，提升器件信噪比。第三，离子注入后的热处理方式为脉冲电流快速退火，可以实现晶格修复，同时快速退火可以避免升温过程中的失氧，从而减小氧空位，使氧化钒电阻不会降低太多。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注