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本发明公开了旋转式槽体自动开关盖机构，包括两个端盖，两个所述端盖位于槽体的上方槽口位置处，两个所述端盖的两侧均设置有转臂，所述端盖通过连接板与转臂固定连接，其中一个所述转臂的一侧转动连接有支撑块，另一个所述转臂的一侧连接有联轴器，所述联轴器的一侧固定安装有旋转气缸；使用旋转气缸驱动方式，可以改进端盖开关的稳定性、改善开启角度和紧密性问题，并提高工作效率；该开关盖机构降低工人的劳动强度、提高工作效率，端盖能够在更小的空间内实现闭合、打开动作，可以适应各种湿式制程设备中开关盖所允许安装空间狭小的安装环境，满足端盖开启时自身高度要求、角度和紧密性要求。

本发明公开了槽体自动开关盖机构及其工作方式，包括第一侧板及其平行设置的第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间对称转动连接有两个第一盖板，所述第一侧板背离第二侧板的外侧面对应两个第一盖板转轴所在位置处对称设置的两个连接架，两个所述连接架均与对应的气缸保护架焊接，所述气缸保护架的内部固定有旋转气缸。本发明中，通过旋转气缸带动第一盖板及其转动连接的第二盖板实现对槽体端口的封挡，开启和关闭占据的空间小，便于工人操作；过橡胶带顶面的卡条与卡槽卡合，实现第一盖板和第二盖板之间的密封，通过第二橡胶条和第三橡胶条的贴靠，实现第一盖板和第二盖板底面与档条顶面之间的密封，保证槽体端口的密封性。

本发明公开了一种两段式阻水轮装置，包括一号阻水轮、一号升降机构、机台槽体、触碰传感器、二号阻水轮、二号升降机构、工件出口、二号传动机构、二号电机、二号电机固定架、一号传动机构、一号电机、一号电机固定架以及工件入口，工件出口与工件入口分别设于机台槽体两端，一号阻水轮与二号阻水轮一前一后设于机台槽体内底面，两升降机构皆固定于机台槽体内侧壁上，两升降机构分别与两阻水轮连接，触碰传感器分别设于一号阻水轮以及二号阻水轮前的机台槽体内底面，两电机通过两电机固定架分别固定于机台槽体的下端，两传动机构皆设于机台槽体侧面，一号传动机构连接一号阻水轮以及一号电机，二号传动机构连接二号阻水轮以及二号电机。

一种晶粒批量自动化湿式制程处理系统及其载具，包括湿式制程机台、托板输送系统、转载板循环输送系统、盖板循环输送系统和机械手，晶粒人工放置到托板上，经托板输送系统送入，机械手将托板上的晶粒集中取出并水平转移至转载板上，托板经托板输送系统送至湿式制程机台的输出端，盖板下移覆盖在转载板上，转载板覆盖盖板后进入湿式制程机台进行晶粒处理，晶粒处理后转载板经湿式制程机台输送系统输出，盖板上移取出并经盖板循环输送系统收回至转载板覆盖盖板处，机械手将转载板上的晶粒取出并水平转移至托板上，转载板经转载板循环输送系统收回至湿式制程机台前端的转载盘盛放晶粒处，托板将晶粒送至产品集中处。