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发明已授权

本发明涉及涂胶显影机领域，尤其涉及一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机。技术问题如下：不宜通过机械挤压的方式进行涂胶的固定，硅片的取放极为不便，并且通过甩胶的方式进行胶料的平整，胶料被甩到挡板上，胶料的回收处理困难。技术方案如下：一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机，包括有电动转盘和匀胶系统等；电动转盘连接有用于硅片上多余胶料去除的匀胶系统。本发明通过基准片对多孔板进行水平度检测，用以模拟硅片放置于该位置时的水平度，用以确保硅片放置时的平整度，并且通过抽风的吸力固定硅片，实现对硅片的便捷取放以及固定，以及将多余胶料进行回收处理，避免胶料在限位环内堆积。

📄 2022113434624 📂 B05C11_08 👤 天霖(张家港)电子科技有限公司 📅 2022-10-31

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一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机