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本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种单晶硅生产用硅片清洗装置，包括硅片花篮、夹持机构、移动组件和滑动杆，夹持机构设置在硅片花篮内，夹持机构包括第一夹持组件、第二夹持组件……第N夹持组件，相邻夹持组件之间用于夹持硅片；移动组件包括第一导向板和第二导向板，第一导向板和第二导向板均能够滑动地设置在硅片花篮内，第一导向板上设置有第一轨道，第二导向板上设置有第二轨道；滑动杆能够滑动地设置在硅片花篮内，滑动杆设置在第一导向板和第二导向板之间；滑动杆沿着第一轨道和第二轨道运动时用以清洗硅片。通过设置第一导向板、第二导向板和滑动杆，使得硅片被夹持部分间歇漏出，从而使得硅片被夹持部分能够被清洗。