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本发明公开了一种柔性放电电极结构的等离子体消毒灭菌装置，包括具有高压输出电路的电源系统，与高压输出电路的高压端连接的高压电极，以及接地电极，所述高压电极与接地电极以相互螺旋缠绕的结构直接接触，高压电极与接地电极至少其中一个电极为柔性体结构，高压电极与接地电极至少其中一个电极包裹有绝缘介质；采用柔性体结构的接地电极选用熔点高、导电性能较好的碳纤维材料；电源系统通电后，两电极的接触区域发生表面放电，生成大量低温等离子体；相互缠绕直接接触的高压电极和接地电极结构可以以直接接触的方式对被处理物体进行消毒灭菌处理。

本发明提供了一种用于高分子材料表面改性的辉光等离子体生成装置。包括：高频高压电源、高压电极、绝缘介质、金属网电极和改性材料。高压电极通过引线与高压高频电源相连接，金属网电极通过引线与接地端相连，绝缘介质设置在高压电极、金属网电极之间，改性材料放置于金属网电极的表面，高压电极与绝缘介质之间、绝缘介质与金属网电极之间、金属网电极与改性材料之间都保持密封接触，当高压高频电源施加的电压达到放电电压后，辉光放电等离子体在放电区域内生成，并作用于改性材料。本发明通过将改性材料与电极直接接触构造了亚毫米级放电间隙，抑制了电子崩的发展程度，从而抑制丝状放电的产生，有利于提高等离子体对材料表面改性的效果。