本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩,上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面;上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环;上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹;旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹;旋转支撑座的内圆柱面下端成型有同轴设置的圆环状的下支撑环;下支撑环上固定有防溅罩;防溅罩由上部的缩口部和下部的上窄下宽的漏斗状的下阻挡部组成;下阻挡部的上端开口的内径与缩口部的内径相同;缩口部的内径大于研磨平台的直径。
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📂 B24B37_00
👤 刘永
📅 2020-07-04