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一种角度可调节封带剥离装置，涉及半导体封装测试技术领域，其能够测试载带和覆膜之间在不同的剥离角度和速度下，是否会出现拉扯撕裂的现象。所述角度可调节封带剥离装置，包括：具有腰型槽和直线滑轨的角度调节底板，所述角度调节底板安装有角度调节机构和牵引机构；所述角度调节机构包括：导轮安装座，所述导轮安装座通过可调节手拧螺丝锁紧在带角度标尺的所述腰型槽内；所述导轮安装座装配有压料重力坠及与所述压料重力坠临近装配的过桥导轮；所述牵引机构包括：安装于所述直线滑轨的橡胶滚轮，且所述橡胶滚轮压紧于覆膜牵引轮，所述覆膜牵引轮安装在伺服电机的轴端；热封好的卷带产品由送料轨道板送入后，经过剥离杆后被分离为覆膜和载带。

一种条带产品拨料齿轮离合机构及应用其的送料装置，涉及卷带包装形式半导体产品的送料装置技术领域，其能够通过手扳手柄的方式快速分离驱动齿轮而不影响传动精度。离合扳机座通过第一轴承装配有离合凸轮转轴、且离合凸轮转轴能够在第一轴承内旋转，离合凸轮转轴固定有离合凸轮和离合扳机；弹簧顶销座通过螺纹连接的方式装配有弹簧顶销，且弹簧顶销为拨料轮座提供向上的弹簧顶力和运动趋势，拨料轮座通过直线滑块与固定在送料轨道板的直线滑轨连接、并能够上下滑动；杠杆转轴通过第二轴承连接有离合杠杆，离合杠杆的中部通过滚轮轴安装的滚轮与拨料轮座为滚动接触，且拨料轮座通过第三轴承与拨料轮轴的一端连接，拨料轮轴的另一端连接有拨料轮。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

封闭式晶圆除尘机构，涉及晶圆加工技术领域，能够达到较好的除尘和集尘效果。封闭式晶圆除尘机构中，密闭腔体的一侧壁通过舱门设有作为进出此密闭空间的通道；密闭腔体内设置有能够由通道伸出密闭腔体的托板组件，托板组件用于放置盛装有晶圆的料盒；密闭腔体内设置有能够做来回往复运动的除尘组件，除尘组件用于吹送洁净的离子风、并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射；密闭腔体连通有集尘管道，集尘管道能够进行抽风、并用于集尘；当托板组件带动装有晶圆的料盒运动至密闭腔体内指定位置后，控制器控制舱门关闭，除尘组件吹送洁净的离子风、用于去除微颗粒的静电吸附作用，并配合装有压缩氮气的风刀进行风幕扫射以对晶圆进行除尘。

本申请公开一种偏心研磨轴机构，包括水平设置且居中设置安装圆孔的基座，安装圆孔中转动安装转盘，转盘底部偏心设置滑槽，滑槽内滑动设置可锁定在设定位置的滑块，滑块底部转动连接竖直的输出轴；还包括依次位于基座下方的第一滑座和第二滑座；第一滑座相对基座在第一方向水平滑动，第二滑座相对第一滑座在第二方向水平滑动，第一方向和第二方向垂直，第一滑座沿第二方向居中设置长槽孔，输出轴贯穿长槽孔并居中固定贯穿第二滑座。使用本申请进行研磨加工时，能使磨料研磨颗粒在不同的区域局部圆周运动，其路径相互交织，磨削效率更高；纹理交错淡化不易分辨；各区域磨料利用率基本一致，失效寿命设计合理；偏心距离可调，磨削半径可自由设定。