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摘 要:本发明公开了一种基于PCDL型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物,所述组合物的原料及其各原料的质量百分含量为:聚氨酯丙烯酸酯45‑60%,活性稀释剂10‑15%,颜料4‑6%,光引发剂3‑5%,溶剂20‑37%;在避光条件下,聚氨酯丙烯酸酯与光引发剂、溶剂、活性稀释剂以及颜料按比例混合,室温下磁力搅拌使其充分溶解,即得光致抗蚀剂。本发明组合物中PCDL型聚氨酯丙烯酸酯的玻璃化温度、硬度、较高,酸值可调,分子量较低,粘度小,以该低聚物配制的光致抗蚀剂膜稀碱液可显影,且显影时间短,图像分辨率较高。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510129329.2 | 专利名称: | 一种基于PCDL型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物 |
申请日: | 2015-03-23 | 申请/专利权人 | 江南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G03F7/027搜分类 化工材料 胶 C P L CD 光刻 组合 光刻胶搜索 |
公开/公告日: | 2018-11-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN104698754B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |