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摘 要:本发明涉及基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法,属于生产过程控制领域。晶体生长系统包括生长装置、控制装置和基于视觉的尺寸检测装置。载晶架顺时针旋转、停止、逆时针旋转、停止,循环运行。载晶架旋转停止时通过视觉系统在线检测生长晶体的尺寸,根据生长晶体的尺寸在线估计生长溶液浓度从而计算生长溶液的过饱和度,根据过饱和度的要求按规则调节生长溶液降温速率,改变生长溶液的温度。本发明方法通过生长溶液的过饱和度变化来改变生长溶液的温度,既能够保证晶体能够有着稳定的快速的生长速度,又能保证晶体的质量。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202011023140.2 | 专利名称: | 基于溶液浓度在线估计的晶体生长过程控制方法 |
申请日: | 2020-09-25 | 申请/专利权人 | 江南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省无锡市蠡湖大道1800号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N9/36搜分类 过程 生长 晶体生长搜索 |
公开/公告日: | 2021-05-28 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN112126971B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |