一种基于ALD技术的SbOCl材料的制备方法

摘     要：本发明公开了一种基于ALD技术的SbOCl材料的制备方法，属于纳米材料领域。在真空条件下，交替将气化后的Sb源SbCl3与氧源水以脉冲形式通入提前放入衬底的原子层沉积(ALD)设备反应腔，交替脉冲模式为：SbCl3脉冲t1→清洗t2→水脉冲t3→清洗t4，以此模式完成单个生长循环；在特定沉积温度下，重复若干单个生长循环即可得到生长有SbOCl材料的沉底。本发明采用SbCl3与氧源水的组合,将其进一步应用在原子层沉积技术中，使其能够在多种衬底上沉积负载量、原子活性位点分布可控的具有光催化性能的SbOCl材料。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注